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12月28日,随着科技的飞速发展,半导体行业正在经历一场深刻的变革。据行业专家指出,过去20多年光刻领域的进步主要由特殊设备决定,而如今,这一局面正在发生改变,未来10年将迎来“材料时代”。 美国耗材供应商Entegris的首席技术官James O'Neill指出,半导体行业在掌控更精细工艺技术的角色上已经从光刻设备转向了用于硅晶圆加工的先进材料和清洗解决方案。他强调,材料领域的创新已成为提高半导体元件生产率的关键因素。同时,默克集团电子业务总经理凯·贝克曼(Kai Beckmann)
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